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產品詳情

DM系列雙頻匹配器

產品性能:

該匹配器能夠提供快速、準確和可靠的阻抗變換。可變電容由電機驅動,電機通過計算主板控製。

采用高速的匹配算法,可以調節電機的轉速,即使是高Q值的系統也能達到準確的匹配效果。

通過調整內部繼電器,調節不同檔位,達到匹配。

應用對象:

該雙頻匹配器主要應用對象包括:刻蝕、PECVD系統


DM雙頻匹配器系列
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