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產品詳情
射頻RPS
獨創的遠程等離子體源，基於高頻低損耗磁芯設計，腔體通過特殊的材料設計顯著減少氧、氫和氮原子氣體的損失。系統結構設計緊湊，射頻功率可達10kW ，可根據具體應用進行相關匹配設計。可提供提供高達 10 slm 的氧自由基，功率精度為 <1%。具備EtherCAT、232/485等相關遠程控製接口。
參數名稱 | 技術要求 |
工作頻率 | 350KHz~450KHz |
輸出功率 | 100W-10000W |
適用氣體 | O2, N2, Ar,NF3 等等 |
運行氣壓範圍 | 0.3-10 Torr |
氣體流量範圍 | ≤10slm |
電源輸入 | AC208V，47-60HZ, 38A 三相 |
冷卻方式 | 循環水冷 |
保護 | 過電流、過溫度、過功率 |
控製接口 | EtherCAT、RS232/RS485、AD |
阻抗匹配方式 | 調頻匹配 |
應用 | CVD Chamber Cleaning、Surface Treatment and PE-CVD |
應用材料 | SiO2, BPSG ，SiON ，Si3N4, SiNx，P-TEOS，ACL type etc. |
外形尺寸 | RPS系統：438*240*269mm |
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