18610611799
產品詳情
產品介紹
該射頻電源整機功率密度高。該系列電源具有功率輸出精度高、穩定、可重複等優點。采用大屏幕液晶顯示：設定功率，反射功率，狀態等參數。
應用特征
該電源主要應用對象包括：刻蝕、ICP、光學鍍膜、等離子清洗、等離子體增強、感應加熱及PECVD等系統。
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該射頻電源整機功率密度高。該系列電源具有功率輸出精度高、穩定、可重複等優點。采用大屏幕液晶顯示：設定功率，反射功率，狀態等參數。
應用特征
該電源主要應用對象包括：刻蝕、ICP、光學鍍膜、等離子清洗、等離子體增強、感應加熱及PECVD等系統。
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