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產品詳情
350KHz-450KHz低頻電源
產品性能
低頻電源提供50-3000W功率輸出，頻率範圍350KHz-450KHz。整體結構緊湊，設計體積更小便於安裝。設計采用固態設計使產品性價比更高、可靠性更強。
應用對象
該電源作為射頻驅動等離子體系統的電源，主要應用於半導體領域。應用對象包括：刻蝕、PECVD、PVD等系統
產品規格 | 600W | 1000W | 3000W |
輸出功率 | 0-600W | 0-1000W | 0-3000W |
射頻精度 | 1% | ||
輸出頻率 | 350KHz-450KHz | ||
頻率信號 | 標準正弦波 | ||
輸入電壓 | AC180-250V | ||
輸入電流 | 5A | 10A | 16A |
輸出阻抗 | 50Ω | ||
脈衝頻率 | 100Hz-10KHZ | ||
占空比 | 10%-90% | ||
冷卻方式 | 風冷 | 水冷 | 水冷 |
通訊口 | RS232/RS48525kg Device Net | ||
模擬控製接口 | DB15 | ||
輸出接口 | N | ||
面板尺寸 | 240x132mm | ||
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